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- 高分辨率非接觸表面分析儀
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高分辨率非接觸表面分析儀
DSV系列高分辨率非接觸表面分析儀基于偏轉(zhuǎn)測(cè)量技術(shù)進(jìn)行表面檢測(cè)和平整度測(cè)量，旨在通過光學(xué)非接觸技術(shù)幫助制造商檢測(cè)最大直徑可達(dá)300 mm的大表面，以實(shí)現(xiàn)無缺陷生產(chǎn)和高質(zhì)量產(chǎn)品交付。
本設(shè)備可對(duì)單個(gè)產(chǎn)品或批量產(chǎn)品進(jìn)行表面質(zhì)量控制或直接進(jìn)行在線檢測(cè)。可以在一次測(cè)量中將表面粗糙度、形狀、平坦度和形貌進(jìn)行納米級(jí)量化。
其極高的分辨率性能帶來了快速、可靠和高度靈敏的解決方案，適用于多個(gè)行業(yè)的大型表面檢測(cè)。
特點(diǎn) :
l 垂直方向動(dòng)態(tài)范圍 : 1mm 到 1nm
l 視野 : 可達(dá)300mm
l 橫向分辨率 : 低至10um
l 無需拼接可對(duì)樣品進(jìn)行全直徑尺度進(jìn)行一次性測(cè)量
l 易于使用的軟件界面
應(yīng)用 :
l 材質(zhì)/質(zhì)地: 2D 和 3D 粗糙度，波紋度
l 形狀: 2D 和 3D 彎曲和幾何形狀
l 應(yīng)力: 2D 和 3D 薄膜應(yīng)力
l 缺陷檢測(cè): 2D和 3D 缺陷表面形貌
行業(yè) ：
l 大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室和研究所
l 半導(dǎo)體、太陽能行業(yè)
l 發(fā)光二極管行業(yè)
l 汽車行業(yè)
l 醫(yī)療器械
離線分析軟件 ：
l 光標(biāo)和直方圖形式進(jìn)行2D /3D 階梯高度分析
l 2D 剖面圖和3D視圖測(cè)量
l 2D /3D 粗糙度和波紋度分析
l 2D/3D 濾波和水準(zhǔn)測(cè)量技術(shù)
l 薄膜應(yīng)力和樣品彎曲計(jì)算
測(cè)量應(yīng)用
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質(zhì)地: 粗糙度和波紋度 可對(duì)材質(zhì)質(zhì)地進(jìn)行2D和3D測(cè)量，同時(shí)量化樣品的粗糙度和波紋度。使用軟件過濾器區(qū)分粗糙度和波紋度分量。 |
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形狀: 彎曲和幾何形狀 測(cè)量表面的2D形狀或彎曲，量化曲面結(jié)構(gòu)（如透鏡）的高度和半徑。
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薄膜應(yīng)力 測(cè)量具有多個(gè)工藝層的器件制造過程中產(chǎn)生的2D和3D應(yīng)力。 |
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缺陷分析 測(cè)量缺陷形貌，如劃痕的深度。 |
技術(shù)參數(shù)
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DSV-100 |
DSV-300 |
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測(cè)量視野 |
100 × 100 mm2 (平面工件) |
300 × 300 mm2 (平面工件) |
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平面公差 |
+/- 1mm |
+/- 3-4mm |
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橫向分辨率 |
22 μm |
66 μm |
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縱向分辨率 |
<1 nm |
2 nm |
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測(cè)量時(shí)間 |
典型時(shí)間3-5 秒 |
典型時(shí)間3-5 秒 |
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測(cè)量周期時(shí)間 |
典型時(shí)間6-25秒 |
典型時(shí)間6-25秒 |
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高程圖準(zhǔn)確性 |
+/- 1 nm （10 × 10 cm2情況下） |
+/- 1 nm （30 × 30 cm2情況下） |
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相機(jī) |
20 M像素 |
20 M像素 |
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外形尺寸 |
400 × 300 × 300 mm3 |
500 x 900 x 500 mm3 |